設備

JIS B 9920 清浄度クラスの上限濃度（個／立方メートル）

• クラス5：100,000／立方メートル
• 室容量：256m²（16,000×16,000mm）
  　　　：760m²（16,000×16,000×3,000mm）
• 室内温湿度条件：温度 23°C±3°C／湿度 65%以下
• 外気条件：夏期 温度35°C／湿度 70%以下
  　　　　　冬期 温度-5°C／湿度 40%以下